公司简介

追求极致高效创新

深圳市星海威真空设备有限公司是上市公司深圳新益昌科技股份有限公司投资成立的子公司。公司主要从事新能源/新材料、光电/半导体芯片、航空航天等行业的核心真空装备的研发和制造，致力于为客户提供高品质的真空设备和服务。

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产品中心

卷绕镀膜设备

卷绕镀膜设备......

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长晶炉

SiC长晶炉适用于6寸或8寸SiC衬底生长，中频感应或电阻加热系统，工艺气体快速调节系统，下装载结构可实现便捷的开装炉及维护操作，同时设备拥有高精度控温、控压能力，工艺性能稳定优良。

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第三代半导体外延设备

外延设单腔/多片（最大3×8Inch）+洁净真空机械手搬运， •各盘独立控温，控温精度高； •水平层流布气+分子泵排气，控制气体分布均匀； •工艺进程实时监控，精准控制参数；

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光学镀膜机

精密光学电子枪蒸镀系统专门为精密光学薄膜器件镀膜而设计，各系统设计和整体结构满足光学薄膜生产工艺要求

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消费电子行业

消费电子行业

光学溅射系统
卷绕镀膜机
蒸镀机等

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锂电池行业

锂电池行业

卷绕镀膜机
真空干燥机
蒸镀机等

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光伏行业

光伏行业

连续镀膜线
PVD
PECVD
LPCVD
ALD等

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半导体行业

半导体行业

PVD
PECVD
MOCVD
ALD
MBE等

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消费电子行业

锂电池行业

光伏行业

半导体行业

深圳市星海威真空设备有限公司
深圳市宝安区福海街道永福路华丰智谷福海科技产业园H栋
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