长晶炉

长晶炉

机型：6寸、8寸、12寸

SiC长晶炉适用于6寸或8寸SiC衬底生长，中频感应或电阻加热系统，工艺气体快速调节系统，下装载结构可实现便捷的开装炉及维护操作，同时设备拥有高精度控温、控压能力，工艺性能稳定优良。

适用领域

半导体
光伏
智能汽车

产品参数

极限真空：	优于5*10E-4Pa;
压升率：	优于0.3Pa/H(参照GB/T 11164-2011测试方法)；
真空漏率（氦质谱检漏仪）：	优于1*10E-9Pa.m3/s;
加热温度：	电磁感应加热2600℃(Max),精度优于+/-0.05%;
压力控制范围：	1-10000Pa;

深圳市星海威真空设备有限公司
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