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产品与技术
长晶炉
机型:6寸、8寸、12寸
SiC长晶炉适用于6寸或8寸SiC衬底生长,中频感应或电阻加热系统,工艺气体快速调节系统,下装载结构可实现便捷的开装炉及维护操作,同时设备拥有高精度控温、控压能力,工艺性能稳定优良。
适用领域
半导体
光伏
智能汽车
产品参数
极限真空:
优于5*10E-4Pa;
压升率:
优于0.3Pa/H(参照GB/T 11164-2011测试方法);
真空漏率(氦质谱检漏仪):
优于1*10E-9Pa.m3/s;
加热温度:
电磁感应加热2600℃(Max),精度优于+/-0.05%;
压力控制范围:
1-10000Pa;