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第三代半导体外延设备
机型:QDE系列
外延设单腔/多片(最大3×8Inch)+洁净真空机械手搬运, •各盘独立控温,控温精度高; •水平层流布气+分子泵排气,控制气体分布均匀; •工艺进程实时监控,精准控制参数;
适用领域
电子工业
交通运输
光伏