第三代半导体外延设备

第三代半导体外延设备

机型：QDE系列

外延设单腔/多片（最大3×8Inch）+洁净真空机械手搬运， •各盘独立控温，控温精度高； •水平层流布气+分子泵排气，控制气体分布均匀； •工艺进程实时监控，精准控制参数；

适用领域

电子工业
交通运输
光伏

深圳市星海威真空设备有限公司
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