第三代半导体外延设备

机型：QDE系列

外延设单腔/多片（最大3×8Inch）+洁净真空机械手搬运， •各盘独立控温，控温精度高； •水平层流布气+分子泵排气，控制气体分布均匀； •工艺进程实时监控，精准控制参数；