产品与技术-深圳市星海威真空设备有限公司

卷绕镀膜设备
机型：XH-RS系列

卷绕镀膜设备......
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光学镀膜机
机型：XHEB系列

精密光学电子枪蒸镀系统专门为精密光学薄膜器件镀膜而设计，各系统设计和整体结构满足光学薄膜生产工艺要求
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连续式镀膜生产线
机型：XHSL系列

连续式镀膜生产线......
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单腔室溅射设备
机型：XHCS系列

单腔室溅射设备....
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多腔室溅射设备
机型：XHMS系列

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ALD设备
机型：

ALD设备....
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钙钛矿设备
机型：XHV系列

钙钛矿真空镀膜设备是钙钛矿太阳能电池制备中的关键设备之一。通过镀膜技术，可以制备出高质量的钙钛矿层、电子传输层、空穴传输层等关键结构，提高电池的光电转换效率和稳定性。除了钙钛矿太阳能电池外，真空镀膜设备还广泛应用于OLED和OPV等其他类型的太阳能电池制备中，为这些新兴的光伏技术提供高质量的薄膜材料。
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第三代半导体外延设备
机型：QDE系列

外延设单腔/多片（最大3×8Inch）+洁净真空机械手搬运， •各盘独立控温，控温精度高； •水平层流布气+分子泵排气，控制气体分布均匀； •工艺进程实时监控，精准控制参数；
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