产品与技术-深圳市星海威真空设备有限公司

卷绕镀膜设备
机型：XHDL

卷绕镀膜设备......
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长晶炉
机型：6寸、8寸、12寸

SiC长晶炉适用于6寸或8寸SiC衬底生长，中频感应或电阻加热系统，工艺气体快速调节系统，下装载结构可实现便捷的开装炉及维护操作，同时设备拥有高精度控温、控压能力，工艺性能稳定优良。
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第三代半导体外延设备
机型：QDE系列

外延设单腔/多片（最大3×8Inch）+洁净真空机械手搬运， •各盘独立控温，控温精度高； •水平层流布气+分子泵排气，控制气体分布均匀； •工艺进程实时监控，精准控制参数；
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光学镀膜机
机型：XHE系列

精密光学电子枪蒸镀系统专门为精密光学薄膜器件镀膜而设计，各系统设计和整体结构满足光学薄膜生产工艺要求
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