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产品与技术
卷绕镀膜设备
机型:XHDL
卷绕镀膜设备......
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长晶炉
机型:6寸、8寸、12寸
SiC长晶炉适用于6寸或8寸SiC衬底生长,中频感应或电阻加热系统,工艺气体快速调节系统,下装载结构可实现便捷的开装炉及维护操作,同时设备拥有高精度控温、控压能力,工艺性能稳定优良。
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第三代半导体外延设备
机型:QDE系列
外延设单腔/多片(最大3×8Inch)+洁净真空机械手搬运, •各盘独立控温,控温精度高; •水平层流布气+分子泵排气,控制气体分布均匀; •工艺进程实时监控,精准控制参数;
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光学镀膜机
机型:XHE系列
精密光学电子枪蒸镀系统专门为精密光学薄膜器件镀膜而设计,各系统设计和整体结构满足光学薄膜生产工艺要求
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