减反射膜,又称为增透膜,是一种广泛应用于光学领域的重要薄膜。它的主要功能是通过减少或消除透镜、棱镜、平面镜等光学表面的反射光,来增加这些元件的透光量,并减少或消除系统的杂散光。减反射膜以其广泛的应用范围和显著的效果,成为光学薄膜技术中的重要研究课题。
减反射膜的工作原理基于光的波动性和干涉现象。当光线通过镜片或光学元件时,不仅会产生折射,还会产生反射。这种反射光不仅会降低透光量,还会产生杂散光,影响系统的性能。减反射膜通过在光学元件表面镀上一层或多层薄膜,使得这些薄膜产生的反射光与元件表面的反射光发生干涉,从而抵消反射光,提高透光量。
减反射膜的应用范围非常广泛,包括日常生活、工业、天文学、军事学、电子等领域。在太阳能电池中,减反射膜的应用尤为重要。太阳能电池发电原理主要利用半导体材料的光电效应,而硅材料的折射率很大,导致照射到硅表面的光不能充分被吸收,而是有很大一部分被反射掉。通过在电池上镀一层或多层折射率和厚度与电池匹配的减反射膜,可以显著提高电池的转化效率。
随着电子工业和计算机的发展,显示器防眩防静电膜和电脑视保屏成为减反射膜新的应用领域。这些应用不仅能够有效提高电池的转化效率,还能改善基体的力学性能、电学性能、光学性能及其他物理化学性能。
光学镀膜设备
1.真空指标:极限真空:5.0E-5Pa(洁净空载、有护板、无基板情况下)
2.抽空时间:大气至3.0E-3Pas15min
3.真空压升率:≦0.5Pa/h(洁净空载、抽空至极限真空后开始测试)
4.光学实时监控:先进的光学监控系统,通过安装在腔内的监控组件,实时监控基片的厚度并反馈回系统,通过馈入反馈信息控制成膜系统达到实时监控修正膜厚的目的
5.成膜系统:8靶位磁控溅射,CRR镀膜工艺后期氧化,AF蒸发系统,配备挡板。