真空知识丨几种真空烘烤除气装置介绍

在真空技术和材料处理领域，烘烤除气装置扮演着至关重要的角色。它们通过加热去除材料表面和内部的吸附气体，从而提高真空系统的性能。

整体真空烘箱

整体真空烘箱是最常见的烘烤除气装置之一，广泛应用于玻璃真空系统、小型部件及电子器件的烘烤除气。整体烘箱的设计通常分为内热式和外热式两种：

内热式烘箱：加热器置于真空罩中，采用钨（W）或钼（Mo）丝作为加热元件，而非普通电炉丝（因为它们在真空中容易蒸发）。这种设计使得加热更为直接，但需要注意避免加热器蒸发物对部件的污染。

外热式烘箱：加热器位于真空罩外部，通过不锈钢钟罩将加热器与被加热部件隔开，部件依靠钟罩加热后产生的辐射热加温。这种设计优点是加热温度均匀，避免了加热器直接面对部件带来的蒸发物污染问题，同时方便加热器拆卸，使得被加热部件冷却速度快，使用方便。

整体真空烘箱的真空度一般应高于10^-2Pa，以确保有效的除气效果。此外，它还可以通过改变烘箱内的气压对被加热器件进行高灵敏度的快速检漏。

真空烘箱结构示意图

分离式烘箱

分离式烘箱的设计更加灵活，它将整体烘箱分成几块电热板，使用时通过连接件组合起来。这种设计对被烘烤对象的形状适应性强，特别适用于形状复杂的真空设备的烘烤除气。分离式烘箱的优点在于其模块化的设计，可以根据实际需要调整电热板的数量和位置，从而满足不同形状和尺寸设备的烘烤需求。

烘烤带

烘烤带是一种采用电阻丝和玻璃纤维布制成的加热装置，包在被烘烤设备的外部对设备进行加热除气。这种形式适用于形状复杂的真空系统及设备的临时性烘烤或局部烘烤。烘烤带的优点在于其灵活性和便携性，可以方便地应用于各种复杂形状的设备和部件。同时，由于电阻丝的使用，烘烤带的加热温度也相对较高，能够满足大多数烘烤除气的需求。

红外管加热器

红外管加热器通常敷设在真空设备外部，对设备进行加热。这种加热方式适用于大型、中型真空设备的烘烤除气。红外管加热器的优点在于其加热效率高、温度均匀性好，能够快速提高真空设备的温度，从而实现有效的烘烤除气。此外，红外管加热器的使用寿命也相对较长，能够确保长期稳定的烘烤效果。

烘烤除气装置在真空技术和材料处理领域发挥着重要作用。不同类型的烘烤除气装置具有各自的特点和适用范围，用户在选择时应根据实际需求进行考虑。整体真空烘箱适用于大多数常见的烘烤除气需求；分离式烘箱则更加灵活，适用于形状复杂的设备；烘烤带则便于临时性和局部性的烘烤；而红外管加热器则适用于大型设备的烘烤。通过合理选择和使用这些烘烤除气装置，可以显著提高真空系统的性能和稳定性。