1.ITO镀膜技术概述
ITO(氧化铟锡)镀膜是一种透明导电薄膜,具有优良的导电性和光学透过性,广泛应用于触摸屏、液晶显示器、光伏电池等领域。ITO镀膜的主要技术包括直流磁控溅射、射频磁控溅射、电子束蒸发和化学气相沉积等。其中,磁控溅射技术因其沉积速率快、薄膜均匀性好等优点,成为ITO镀膜的主流工艺。
星海威ITO样品展示
2.连续式镀膜生产线在ITO镀膜中的应用
1. **高效生产与自动化控制**
连续式镀膜生产线采用模块化设计,配备多组大型磁控阴极,能够实现大面积、高效率的ITO镀膜。其全自动化控制系统可与机械手无缝对接,实现连续稳定的流水线作业,显著提高生产效率。
2. **高质量薄膜制备**
通过精确控制镀膜条件(如溅射气压、溅射功率、基材温度等),连续式镀膜生产线能够确保ITO薄膜的均匀性和性能一致性。此外,优化的磁控溅射系统和气体分布技术进一步提高了薄膜的附着力和导电性。
3. **多样化应用**
连续式镀膜生产线不仅适用于ITO薄膜的制备,还可镀制AZO、TCO等其他透明导电薄膜,以及单质金属膜。其应用场景涵盖智能家居面板、显示屏、触摸屏、车载玻璃、光伏电池板等。
4. **节能与环保**
该生产线采用节能材料和优化设计,减少了能源消耗和废弃物排放,符合现代绿色生产的要求。


设备推荐
星海威连续式镀膜生产线
1、应用领域
AR镀膜、ITO、变色玻璃、太阳能电池等行业的不同领域。
2、技术特点
•大面积镀膜,多室多靶位,灵活性大;
•磁导向传输系统,平稳可靠;
•镀膜前有离子源对基片进行表面清洗和活化,提高附着力,改善膜层质量;
•真空室加Polycold捕集水蒸汽,提高抽气能力;
•便于维修的侧装分子泵和全开式真空室门;
•自行开发的方便的用户易操作控制软件;
•真空室的模块式设计,单点定位,便于拆装。